2 ISIL VE 1 DC 1 RF MAGNETRON SÖKTÜRME CİHAZI

​​​​​​​

Marka: NANOVAK
Model: NVTS-400

Cihaz NANOVAK NVTS-400 marka ve model olup, metal, oksit ve nitrür filmleri ardışık katmanlar olarak hazırlayabilmektedir. Sıcaklık PID kontrollüdür ve ± 1°C hassasiyetle örnek sıcaklığı kontrol edilebilmektedir. Söktürme kaynakları eş zamanlı kullanılarak, eş-kaplama yapılabilmektedir. Cihazda 1-50 mTorr arasında kararlı basınçta söktürme yapma olanağı, reaktif söktürme olanağı ve 3000 W buharlaştırma kaynağı, 8VAC-350A, ardışık buharlaştırma olanağı bulunmaktadır.

KULLANIM ALANLARI:
- Malzeme Bilimi - Fizik

Cihaz Durumu: Aktif

Cihaz Sorumluları: